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EUVL
sg. f.
[électronique] Extreme Ultra-Violet Lithography. Lithographie utilisant des rayons ultra-violets pour tracer des circuits. L'intérêt est que la longueur d'onde utilisée est plus courte que celle de la lithographie optique, ce qui permet de graver des motifs plus petits (inférieurs à 0,1 micron).
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Dern. modif. : 25-08-2002.
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